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小型离子溅射仪型号SBC-12库号D121692
  • 产品名称:小型离子溅射仪型号SBC-12库号D121692
  • 产品型号:SBC-12
  • 所属类别:专用仪器仪表 > 其他专用仪器仪表
  • 发布时间:2024-06-29
  • 已获点击:12
  • 类型:小型离子溅射仪
  • 测量类型:只能溅射
详细说明


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节


主要性能指标: 

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸:Φ58mm 

真空系统:直联旋片真空泵2L/S 

真空检测:皮氏计 

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节

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